原標題：集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肟燔嚨?自主創(chuàng)新托起“中國芯”

龐大信息社會的根基是一枚枚小巧的集成電路，通常被人們稱為“芯片”。別看芯片“身材小”，他們“喂養(yǎng)”著現(xiàn)代工業(yè)，手機、電腦、家電、高鐵、電動車、機器人、醫(yī)療儀器等離開他們根本無法運轉(zhuǎn)。

“芯片強則產(chǎn)業(yè)強，芯片興則經(jīng)濟興，沒有芯片就沒有安全?！笨萍疾恐卮髮ｍ椶k公室主任陳傳宏說，芯片（集成電路）制造技術(shù)是當(dāng)今世界最高水平微細加工技術(shù)，是全球高科技國力競爭的戰(zhàn)略必爭制高點。

2008年，我國啟動實施“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱集成電路裝備專項）。9年來，集成電路高端制造裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肓俗灾鲃?chuàng)新發(fā)展的快車道。

關(guān)鍵裝備實現(xiàn)從無到有

集成電路裝備專項實施以來，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了從無到有、由弱漸強的巨大變化

“每當(dāng)集成電路技術(shù)進步一代，尺寸就縮小三分之一，對應(yīng)整個集成度提高4倍?！奔呻娐费b備專項技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春說：“以28納米技術(shù)為例，集成度相當(dāng)于在指甲蓋大小的面積上制造出10億個以上的晶體管，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的三千分之一。更為先進的14納米技術(shù)，則相當(dāng)于在人體頭發(fā)絲截面上制造出50萬個以上的晶體管，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的五千分之一?！?/p>

如此精細操作堪比在“針尖上跳舞”，對裝備、材料、工藝都是極大的考驗，由于涉及高技術(shù)含量，制造集成電路的裝備價格是一般裝備價格的10倍到100倍。長期以來，在集成電路高端裝備上我國長期受制于人，因為沒有工藝節(jié)點達到90納米、65納米以下的國內(nèi)自主研發(fā)集成電路裝備，只能采用國外的設(shè)備。

西方發(fā)達國家一直對出口到中國的集成電路制造裝備和材料以及工藝技術(shù)嚴格審查和限制。這對我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)成了嚴重制約，問題日益凸顯。與此同時，隨著我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展尤其是信息化進程的加快，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長，從2006年開始，集成電路產(chǎn)品超過石油成為我國最大宗進口產(chǎn)品，2013年至今，每年進口額超過2000億美元。