8月12日，關(guān)東電化工業(yè)株式會社發(fā)布公告稱，8月7日凌晨4時40分，其位于日本群馬縣澀川市的三氟化氮生產(chǎn)設施發(fā)生爆炸及嚴重火災，造成一名工人死亡，另一名工人受傷?；饎萦诋斎丈衔?時45分被完全撲滅。

關(guān)東電化工業(yè)株式會社表示，此次事故中，三氟化氮制造設備兩個產(chǎn)線中的1系列產(chǎn)線部分受損，已根據(jù)當局指示暫停作業(yè)。其他生產(chǎn)線及產(chǎn)品類在確認安全性后將依次恢復生產(chǎn)。公司是三氟化氮的主要供應廠商，占據(jù)日本90%的市場份額，主要客戶包括三星電子與鎧俠等。

今年5月26日，日本化工巨頭三井化學宣布決定退出其全資子公司下關(guān)三井化學生產(chǎn)的三氟化氮業(yè)務，生產(chǎn)將于2026年3月底停止，銷售將在同年內(nèi)結(jié)束。三井化學表示，由于海外產(chǎn)品價格競爭加劇、原材料及公用工程成本上漲、維修成本上升，該業(yè)務盈利極為困難。盡管采取了各種合理化和削減成本的措施，但難以確保繼續(xù)經(jīng)營所需的利潤。

關(guān)東電化工業(yè)株式會社三氟化氮工廠的停產(chǎn)引發(fā)了人們對半導體供應鏈可能中斷的擔憂。鎧俠認為不會對產(chǎn)量或7月至9月的收益產(chǎn)生直接影響，因為它可以從其他來源獲取天然氣，并且還有剩余庫存。索尼半導體部門拒絕置評，稱不披露其供應商。巖井宇宙證券高級分析師Kazuyoshi Saito表示，如果該工廠長期關(guān)閉，可能會加劇以最大利用率運營以滿足人工智能需求的制造商的產(chǎn)能緊張。

三氟化氮是一種有毒氣體，在純凈狀態(tài)下通常被認為是無色無味氣體。它在低溫時呈現(xiàn)為不透明固體，溫度上升到-216.54℃時變?yōu)橥该鳎埸c為-206.79℃，沸點為-129.01℃，相對密度1.537（-129℃）。在高溫下表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性，可耐受高達627℃的溫度。三氟化氮的生產(chǎn)主要有化學合成和電解合成兩種制備方式，其中化學合成法約占全球三氟化氮產(chǎn)量的75%，電解合成法約占25%。

三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻和清洗材料。在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，且在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑。目前電子級三氟化氮廣泛用于半導體、平板顯示、薄膜太陽能的生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

國際上主要的三氟化氮供應商有SK Materials（韓國）、Hyosung（曉星，韓國）、關(guān)東電化（Kanto Denka）、默克（Merck，德國）、三井化學（Mitsui Chemical，日本）等。中國的主要供應商包括中船特氣、南大光電（山東飛源）、昊華科技、凱美特氣等頭部企業(yè)，以及綠菱氣體、廣鋼氣體、和遠氣體、裕隆氣體、福建德爾等廠商。

中船特氣是國內(nèi)最大的三氟化氮生產(chǎn)商，2024年產(chǎn)能達11000噸。南大光電截至2024年底，三氟化氮年產(chǎn)能為8300噸。昊華科技現(xiàn)有三氟化氮年產(chǎn)能為5000噸，自貢沿灘新建6000噸/年裝置將于今年投產(chǎn)。凱美特氣通過子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司布局三氟化氮業(yè)務，目前產(chǎn)能為6.8萬Nm3/年。

隨著此次關(guān)東電化的三氟化氮工廠火災事件的影響，其產(chǎn)能短期內(nèi)難以恢復，疊加三井化學即將停止三氟化氮的生產(chǎn)，預計未來高純度三氟化氮的全球供應可能存在一定的缺口，這對于國產(chǎn)電子特氣廠商的發(fā)展來說將是一大機遇。