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日本關東電化工廠爆炸，或將沖擊全球半導體供應鏈 關鍵材料供應受阻(2)

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2025-08-15 15:40:03  鳳凰網(wǎng)

三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻和清洗材料。在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，且在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑。目前電子級三氟化氮廣泛用于半導體、平板顯示、薄膜太陽能的生產制造領域。

國際上主要的三氟化氮供應商有SK Materials（韓國）、Hyosung（曉星，韓國）、關東電化（Kanto Denka）、默克（Merck，德國）、三井化學（Mitsui Chemical，日本）等。中國的主要供應商包括中船特氣、南大光電（山東飛源）、昊華科技、凱美特氣等頭部企業(yè)，以及綠菱氣體、廣鋼氣體、和遠氣體、裕隆氣體、福建德爾等廠商。

中船特氣是國內最大的三氟化氮生產商，2024年產能達11000噸。南大光電截至2024年底，三氟化氮年產能為8300噸。昊華科技現(xiàn)有三氟化氮年產能為5000噸，自貢沿灘新建6000噸/年裝置將于今年投產。凱美特氣通過子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司布局三氟化氮業(yè)務，目前產能為6.8萬Nm3/年。

隨著此次關東電化的三氟化氮工廠火災事件的影響，其產能短期內難以恢復，疊加三井化學即將停止三氟化氮的生產，預計未來高純度三氟化氮的全球供應可能存在一定的缺口，這對于國產電子特氣廠商的發(fā)展來說將是一大機遇。

(責任編輯：zhangxiaohua)
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