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中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術 突破193nm激光技術

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2025-03-25 16:32:29  IT之家

中國科學院的研究人員成功研發(fā)出一種突破性的固態(tài)深紫外激光，能夠發(fā)射193納米的相干光。這種波長的光目前被廣泛應用于半導體曝光技術中。

研究人員介紹，深紫外相干光尤其是193納米波長的光已成為半導體光刻不可或缺的部分。他們提出了一種緊湊型固態(tài)納秒脈沖激光系統(tǒng)，能夠在6千赫茲的重復頻率下產(chǎn)生193納米相干光。

該系統(tǒng)通過將自制Yb:YAG晶體放大器中的1030納米激光的一部分通過四次諧波生成258納米激光（功率為1.2瓦），其余部分用于泵浦一個光學參量放大器，產(chǎn)生1553納米激光（功率為700毫瓦）。這些光束在級聯(lián)LiB3O5晶體中進行頻率混合，最終產(chǎn)生平均功率為70毫瓦、線寬小于880兆赫的193納米激光。通過在頻率混合前引入螺旋相位板到1553納米光束中，研究人員成功生成了攜帶軌道角動量的渦旋光束。

這是首次從固態(tài)激光中產(chǎn)生193納米渦旋光束的演示。這種光束對于種子混合ArF準分子激光器非常有價值，并在晶圓加工和缺陷檢測中具有潛在的應用前景。

(責任編輯：張小花 TT1000)
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