近日，A股市場光刻機(jī)板塊表現(xiàn)活躍，波長光電、凱美特氣、蘇大維格等個股領(lǐng)漲。在人工智能浪潮和半導(dǎo)體國產(chǎn)化雙重驅(qū)動下，這個細(xì)分領(lǐng)域正成為資本市場的重點關(guān)注對象。

9月17日，A股光刻機(jī)概念股集體走強(qiáng)。波長光電漲停，漲幅達(dá)20%，凱美特氣也漲停，蘇大維格大漲14.66%，茂萊光學(xué)、炬光科技等個股也大幅跟漲。光刻機(jī)板塊的突然爆發(fā)并非偶然，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正迎來新一輪增長周期，2025年二季度全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額達(dá)到330.7億美元，同比增長24%。與此同時，人工智能基礎(chǔ)設(shè)施成為2025年市場上最穩(wěn)定的贏家之一，英偉達(dá)、博通、臺積電和美光科技推動了今年芯片指數(shù)65%以上的漲幅。

國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)顯示，全球半導(dǎo)體制造業(yè)預(yù)計將保持強(qiáng)勁增長勢頭，預(yù)計從2024年底到2028年，產(chǎn)能將以7%的復(fù)合年增長率增長，達(dá)到每月1110萬片晶圓。推動這一增長的關(guān)鍵因素是先進(jìn)工藝產(chǎn)能（7納米及以下）的持續(xù)擴(kuò)張，預(yù)計將從2024年的每月85萬片晶圓增長到2028年的歷史新高140萬片晶圓，增長約69%。華金證券分析指出，光刻機(jī)技術(shù)仍是先進(jìn)制程大規(guī)模量產(chǎn)的基石。從產(chǎn)業(yè)鏈角度來看，除了整機(jī)外，光學(xué)器件、光源、物鏡等都是光刻機(jī)工作的重要環(huán)節(jié)。

在美國持續(xù)加大對華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的背景下，國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)正加速崛起。愛建證券表示，在政策支持與國家大基金的持續(xù)投入下，國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈已取得進(jìn)展。2024年全球光刻設(shè)備市場規(guī)模達(dá)295.7億美元，預(yù)計到2029年將增長至378.1億美元，年復(fù)合增長率5.0%。EUV光刻機(jī)作為先進(jìn)制程的核心設(shè)備，目前仍由ASML壟斷。山西證券指出，2026年底，中國12英寸晶圓廠的總月產(chǎn)能有望從2023年的217萬片（規(guī)劃產(chǎn)能）增長到超過414萬片。人工智能發(fā)展大幅提升國內(nèi)先進(jìn)制程產(chǎn)能需求。

上海微電子是國內(nèi)唯一能量產(chǎn)前道光刻機(jī)的企業(yè)，承擔(dān)著國家“02專項”的重任。2025年其28nm浸沒式光刻機(jī)將量產(chǎn)交貨，國產(chǎn)化率超70%。張江高科通過參股上海微電子，深度參與了國產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)研發(fā)。2025年第二季度，張江高科實現(xiàn)營收4.84億元，毛利率高達(dá)58.68%。茂萊光學(xué)為光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)提供用于勻光、中繼照明模塊的光學(xué)器件、投影物鏡。2025年上半年，茂萊光學(xué)實現(xiàn)營收3.19億元，同比增長32.26%；凈利潤3275.55萬元，同比大幅增長110.36%。公司毛利率高達(dá)49.65%，同比小幅增長1.98%。作為DUV光刻機(jī)鏡頭核心供應(yīng)商，茂萊光學(xué)供應(yīng)上海微電子投影物鏡系統(tǒng)，單機(jī)價值超5000萬元。2025年其新增訂單同比翻倍，適配28nm制程升級需求。

波長光電是國內(nèi)精密光學(xué)元件主要供應(yīng)商，在半導(dǎo)體領(lǐng)域已具備提供光刻機(jī)配套的大孔徑光學(xué)鏡頭能力。公司成功開發(fā)的光刻機(jī)平行光源系統(tǒng)已交付多套用于接近式掩膜芯片光刻工序，同時在激光檢測方向產(chǎn)品已進(jìn)入半導(dǎo)體光刻配套檢測產(chǎn)業(yè)。9月17日，波長光電漲停，最新股價為88.12元。公司光刻機(jī)平行光源系統(tǒng)支持65nm以下工藝，2025年產(chǎn)能預(yù)計擴(kuò)至500臺/年，覆蓋DUV/EUV需求。凱美特氣生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過ASML子公司Cymer公司審查，并被列入合格供應(yīng)商名單。產(chǎn)品資質(zhì)獲得國際認(rèn)可，凸顯在半導(dǎo)體特種氣體領(lǐng)域的技術(shù)實力。9月17日，凱美特氣漲停，股價報收18.05元。

蘇大維格作為國內(nèi)領(lǐng)先的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造和技術(shù)服務(wù)商，向上海微電子提供了半導(dǎo)體領(lǐng)域投影式光刻機(jī)用的定位光柵尺部件，在關(guān)鍵器件領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重要突破。2025年第二季度，公司實現(xiàn)營收5.29億元，毛利率19.33%。

除了上述核心企業(yè)外，還有多家A股上市公司在光刻機(jī)領(lǐng)域有所布局。福晶科技是全球激光晶體龍頭，KBBF晶體良率超90%，產(chǎn)品應(yīng)用于ASML及國產(chǎn)光刻機(jī)光源系統(tǒng)。2025年光刻機(jī)鏡頭收入占比達(dá)40%。炬光科技為世界頂級企業(yè)提供光刻機(jī)用光場勻化器。產(chǎn)品應(yīng)用于國內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項目和樣機(jī)中。其EUV曝光系統(tǒng)光場勻化器位居全球第二供應(yīng)商位置。奧普光電是中科院長春光機(jī)所旗下企業(yè)，承擔(dān)EUV物鏡系統(tǒng)研發(fā)。光刻機(jī)曝光系統(tǒng)定位精度達(dá)0.1nm，2025年設(shè)備訂單超10億元。北方華創(chuàng)雖然不直接生產(chǎn)光刻機(jī)，但作為半導(dǎo)體設(shè)備平臺型領(lǐng)軍廠商，2025H1實現(xiàn)營收161.42億元，同比增長29.51%。公司完成收購芯源微，進(jìn)一步完善了在光刻工序配套裝備方面的布局。

從投資角度看，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈值得長期關(guān)注。國產(chǎn)替代是核心邏輯，美國持續(xù)加大對華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，反而為國內(nèi)企業(yè)提供了難得的市場機(jī)遇。建議關(guān)注光刻機(jī)核心零部件供應(yīng)商，如茂萊光學(xué)、英諾激光、蘇大維格、芯碁微裝等。不過，投資者也需注意相關(guān)風(fēng)險：技術(shù)更新風(fēng)險、市場需求波動風(fēng)險、供應(yīng)鏈風(fēng)險以及估值風(fēng)險。隨著人工智能和數(shù)字經(jīng)濟(jì)快速發(fā)展，對算力芯片的需求呈現(xiàn)爆發(fā)式增長，光刻機(jī)作為芯片制造的核心設(shè)備，其戰(zhàn)略價值日益凸顯。到2028年，先進(jìn)工藝設(shè)備的資本支出將激增至超過500億美元，與2024年投資的260億美元相比，大幅增長94%。這意味著未來幾年，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈將迎來巨大的發(fā)展機(jī)遇。