上海微電子是國(guó)內(nèi)唯一能量產(chǎn)前道光刻機(jī)的企業(yè)，承擔(dān)著國(guó)家“02專項(xiàng)”的重任。2025年其28nm浸沒式光刻機(jī)將量產(chǎn)交貨，國(guó)產(chǎn)化率超70%。張江高科通過參股上海微電子，深度參與了國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)研發(fā)。2025年第二季度，張江高科實(shí)現(xiàn)營(yíng)收4.84億元，毛利率高達(dá)58.68%。茂萊光學(xué)為光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)提供用于勻光、中繼照明模塊的光學(xué)器件、投影物鏡。2025年上半年，茂萊光學(xué)實(shí)現(xiàn)營(yíng)收3.19億元，同比增長(zhǎng)32.26%；凈利潤(rùn)3275.55萬元，同比大幅增長(zhǎng)110.36%。公司毛利率高達(dá)49.65%，同比小幅增長(zhǎng)1.98%。作為DUV光刻機(jī)鏡頭核心供應(yīng)商，茂萊光學(xué)供應(yīng)上海微電子投影物鏡系統(tǒng)，單機(jī)價(jià)值超5000萬元。2025年其新增訂單同比翻倍，適配28nm制程升級(jí)需求。

波長(zhǎng)光電是國(guó)內(nèi)精密光學(xué)元件主要供應(yīng)商，在半導(dǎo)體領(lǐng)域已具備提供光刻機(jī)配套的大孔徑光學(xué)鏡頭能力。公司成功開發(fā)的光刻機(jī)平行光源系統(tǒng)已交付多套用于接近式掩膜芯片光刻工序，同時(shí)在激光檢測(cè)方向產(chǎn)品已進(jìn)入半導(dǎo)體光刻配套檢測(cè)產(chǎn)業(yè)。9月17日，波長(zhǎng)光電漲停，最新股價(jià)為88.12元。公司光刻機(jī)平行光源系統(tǒng)支持65nm以下工藝，2025年產(chǎn)能預(yù)計(jì)擴(kuò)至500臺(tái)/年，覆蓋DUV/EUV需求。凱美特氣生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過ASML子公司Cymer公司審查，并被列入合格供應(yīng)商名單。產(chǎn)品資質(zhì)獲得國(guó)際認(rèn)可，凸顯在半導(dǎo)體特種氣體領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。9月17日，凱美特氣漲停，股價(jià)報(bào)收18.05元。

蘇大維格作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造和技術(shù)服務(wù)商，向上海微電子提供了半導(dǎo)體領(lǐng)域投影式光刻機(jī)用的定位光柵尺部件，在關(guān)鍵器件領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重要突破。2025年第二季度，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收5.29億元，毛利率19.33%。

除了上述核心企業(yè)外，還有多家A股上市公司在光刻機(jī)領(lǐng)域有所布局。福晶科技是全球激光晶體龍頭，KBBF晶體良率超90%，產(chǎn)品應(yīng)用于ASML及國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)光源系統(tǒng)。2025年光刻機(jī)鏡頭收入占比達(dá)40%。炬光科技為世界頂級(jí)企業(yè)提供光刻機(jī)用光場(chǎng)勻化器。產(chǎn)品應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目和樣機(jī)中。其EUV曝光系統(tǒng)光場(chǎng)勻化器位居全球第二供應(yīng)商位置。奧普光電是中科院長(zhǎng)春光機(jī)所旗下企業(yè)，承擔(dān)EUV物鏡系統(tǒng)研發(fā)。光刻機(jī)曝光系統(tǒng)定位精度達(dá)0.1nm，2025年設(shè)備訂單超10億元。北方華創(chuàng)雖然不直接生產(chǎn)光刻機(jī)，但作為半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)型領(lǐng)軍廠商，2025H1實(shí)現(xiàn)營(yíng)收161.42億元，同比增長(zhǎng)29.51%。公司完成收購芯源微，進(jìn)一步完善了在光刻工序配套裝備方面的布局。