尹志堯：未來將覆蓋超60%半導(dǎo)體設(shè)備積極拓展薄膜設(shè)備

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2025-05-28 17:54:30 每日經(jīng)濟新聞

5月27日，半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司在上海臨港召開了2024年度及2025年第一季度業(yè)績說明會，并在會后舉行了媒體見面會。中微公司2024年LPCVD設(shè)備實現(xiàn)首臺銷售，在研項目還包括PECVD和ALD設(shè)備研發(fā)。長期以來，中微公司的主營業(yè)務(wù)以等離子體刻蝕機為代表，薄膜設(shè)備則主要集中在泛半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備上。

關(guān)于中微公司薄膜沉積設(shè)備業(yè)務(wù)的成長性，董事長尹志堯表示，目前薄膜設(shè)備相關(guān)的收入體量還不大，但公司已經(jīng)在全面布局并加速開發(fā)更多產(chǎn)品，預(yù)計三到五年內(nèi)薄膜設(shè)備收入將快速增長。

半導(dǎo)體前道設(shè)備中，刻蝕和薄膜設(shè)備市場僅次于光刻設(shè)備。中微公司已是國內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭，同時也在積極拓展薄膜設(shè)備業(yè)務(wù)。尹志堯在業(yè)績說明會上介紹了薄膜沉積設(shè)備，表示公司正在不斷開發(fā)多種薄膜沉積設(shè)備，擴大產(chǎn)品覆蓋度。根據(jù)2024年年報，中微公司LPCVD實現(xiàn)首臺銷售，全年設(shè)備銷售額約1.56億元。尹志堯強調(diào)，中微公司開發(fā)的LPCVD設(shè)備具有自主知識產(chǎn)權(quán)，不會抄襲外國設(shè)備。

薄膜沉積設(shè)備分為LPCVD、PECVD、ALD、PVD、EPI、爐管CVD和鍍銅等多種類型。2022年，PECVD市場規(guī)模占總薄膜市場規(guī)模比例為32%，PVD、ALD、LPCVD、EPI、爐管CVD和鍍銅占比分別為22%、14%、8%、8%、8%和5%。尹志堯介紹，中微公司從MOCVD切入，近幾年集中力量開發(fā)了LPCVD，然后做EPI，慢慢進入ALD?，F(xiàn)在已經(jīng)開始做大規(guī)模集成的設(shè)備，包括PVD、ALD和LPCVD，也在開發(fā)新一代等離子體源的PECVD設(shè)備。

據(jù)2024年年報，中微公司近兩年新開發(fā)的LPCVD薄膜設(shè)備和ALD薄膜設(shè)備已有多款新型設(shè)備順利進入市場并獲得重要客戶的重復(fù)性訂單。其中，LPCVD薄膜設(shè)備累計出貨量已突破150個反應(yīng)臺，其他多個關(guān)鍵薄膜沉積設(shè)備研發(fā)項目的研發(fā)進程均比較順利，有望盡快進入客戶驗證階段。公司EPI設(shè)備已進入客戶端量產(chǎn)驗證階段。

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